商品仕様
| 品目 | デジタルマスフローコントローラー |
|---|---|
| 対象ガス | マルチガス* N2(Air、H2、He、Ar、O2、CO2) |
| 継手(いずれか選択) | 1/4F900(標準) 1/4UJR Rc1/4 |
| 流量レンジ(いずれか選択) | マルチレンジ* 10/30/50/100/300/500SCCM/1/35SLM |
| * | 専用のソフトウェアを用いて、ガス種変更やご指定のフルスケール(FS)の30~100%の間でフルスケールレンジの変更が可能になります。 |
| センサー方式 | 熱式巻線センサー |
| 制御範囲 | 2~100%(FS) |
| 応答性 | 全流量制御範囲 1秒以内 |
| 精度 | ±1.0%RD(>35%FS) ±0.35%FS(≦35%FS) |
| 再現性 | ±0.25%FS |
| 入口最大圧 | 500kPakPa |
| 耐圧 | 980kPakPa |
| 使用温度 | 5~50℃℃ |
| 精度保証温度 | 15~35℃℃ |
| 許容保存温度 | -10~60℃℃ |
| 許容動作湿度 | 10~90%RH(但し結露なきこと) |
| 接ガス部材質 | SUS316,SU316L,磁性ステンレス,Ni,PTFE,PCTFE,フッ素ゴム |
| 流量設定信号 | 0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) |
| 流量出力信号 | 0~5VDC(最小負荷抵抗10kΩ以上) |
| デジタル信号 | RS485ロータリースイッチによるアドレス設定:最大99台 |
| 所要電源(DC) | +15V±5%(150mA) |
| 取り付け姿勢 | 水平方向推奨 |
| 重量 | 約900g |
| 入数 | 1台 |
商品説明
高精度(±1%RD)、高速応答(全領域1秒以内)マルチガス・マルチレンジに対応
通信機能を標準装備(RS485)
RoHS・CE規格対応