商品仕様
| 品目 | デジタルマスフローコントローラー |
|---|---|
| 対象ガス | マルチガス* N₂(Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂) |
| 継手 | 1/4F900(標準) 1/4UJR Rc1/4 (いずれか選択) |
| 流量レンジ | マルチレンジ* 10/30/50/100/300/500SCCM/1/35SLM (いずれか選択) |
| * | 専用のソフトウェアを用いて、ガス種変更やご指定のフルスケール(FS)の30~100%の間でフルスケールレンジの変更が可能になります。 |
| 仕様 | センサー方式:熱式巻線センサー 制御範囲:2~100%(FS) 応答性:全流量制御範囲 1秒以内 精度: ±1.0%RD(>35%FS) ±0.35%FS(≦35%FS) 再現性:±0.25%FS 入口最大圧:500kPa 耐圧:980kPa 使用温度:5~50℃ 精度保証温度:15~35℃ 許容保存温度:-10~60℃ 許容動作湿度:10~90%RH(但し結露なきこと) 接ガス部材質:SUS316,SU316L,磁性ステンレス,Ni,PTFE,PCTFE,フッ素ゴム 流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) 流量出力信号:0~5VDC(最小負荷抵抗10k?以上) デジタル信号:RS485ロータリースイッチによるアドレス設定:最大99台 所要電源(DC): +15V±5%(150mA) 取り付け姿勢:水平方向推奨 重量:約900g |
商品説明
高精度(±1%RD)、高速応答(全領域1秒以内)マルチガス・マルチレンジに対応
通信機能を標準装備(RS485)
RoHS・CE規格対応