特長 マグネットカップリング構造の採用により軸シールからの油漏れなし。 吸気管直下型逆流防止を搭載し、チャンバー側への油の流出を防止。 新たな設計思想で到達圧力付近での超低騒音を実現。分析機器に最適。 TUV、cTUVus、ATEX(category 3)認証取得。 オフィスや静かな研究室で使っても運転音が気にならない。 真空ポンプから漏れ出る油を処理する必要がない。 装置側に油が逆流して装置を汚す心配がない。 注意 　※電源プラグおよび電源コードは付属していません。

 

型式	Gv135
商品コード	1423-64-52-51
排気速度 (50/60Hz)	135/162L/in
到達圧力	5.0×10⁻¹Pa
騒音値 (50/60Hz)	46/48dB
モータ出力	550W
使用油	SMR-100
油量	1000mL
吸・排気口	KF25、KF25
使用雰囲気温度範囲	7~40℃
外形寸法	W166×L470×H241.5mm
重量	28kg
電源電圧	AC単相100-120/200-240V

　　　　　　　　　到達圧力はピラニ真空計による測定値です。マクラウド真空計による測定の場合、到達圧力が1.3Pa以下のポンプでは、
　　　　　　　　　1桁低い値になります。
　　　　　　　　　※RoHS対応