商品仕様
| 型式 | EX-700-0-1/4SWL-N2-F1-20℃-I |
|---|---|
| 継手 | 1/4SWL |
| 流体 | N₂ |
| 流量 | 10mL/min |
| センサー方式 | 熱式巻線方式 |
| 流量レンジ | 10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM 50/100/200SLM |
| 指定可能ガス | 10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM(N2,Air,H2,He,Ar,O2,他/CF換算よる切替) 50/100/200SLM(N2(Air,Ar,O2,他/CF換算よる切替)) |
| 精度 | ±1.0%F.S.(25℃)10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM ±1.5%F.S.(25℃)50/100/200SLM |
| 温度係数 | ±0.2%F.S/℃(15～35℃) ※200SLMのみ±0.4%F.S/℃ |
| 再現性 | ±0.2%F.S. |
| 耐圧 | 980kPa(G) |
| 校正温度 | 20℃ |
| 電流出力 | 4～20mA |
| 許容温度範囲 | 5～50℃ |
| 許容保管温度 | -5～60℃ |
| 許容動作湿度 | 10～90%RH(結露無きこと) |
| 接ガス部材質 | SUS316,SUS316L,PTFE,FKM(オプションでNBR,CRP) |
| 電気接続 | DCジャックまたはDsub9ピンオス |
| デジタル通信 | RS485(MODBUSプロトコル、RTUモード) ID:1-247 |
| 所要電源 | 24VDC(±10%) 100mA以下 |
| 取付姿勢 | 水平方向推奨 |
| 出力 | 出力方式:NPNオープンコレクタ2点(最大定格:DC30V 5mA) 出力数:2点(各出力を瞬時流量上限、下限又は積算到達に選択設定、1点は積算パルスも選択可)出力の反転可 イベント表示:LEDランプ(OUT1,OUT2)点灯 アナログ出力:4-20mA(500Ω以下)※0-5V(10kΩ以上)又は1-5Ｖ(10ｋΩ以上)もございます。 |
| 本体重量 | 約 600g |
| 仕様補足 | ※流体はN₂になります。ほかに指定可能なガスもございます。お問い合わせください。 ※精密ニードルバルブ有りは、一次側圧力、二次側圧力をご指定ください。 ※指定可能ガスは乾燥気体であり、腐食成分ダスト・ミスト等が含まれないクリーンガス、N₂ガス以外はデータからの計算値による切替となります。 ※精度はN₂のフルスケールと同じ流量割り振り。計測データをもとにしたガス種保証ですが精度保証するものではありません。 ※出力のV/I注文時選択。 |
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| 商品コード | 商品名 | 定価 | 通常販売価格 |
|---|---|---|---|
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| 0299562372 | マスフローメータEX-700バルブ有50mL/min | 124,000 円 | 価格はログイン後に確認出来ます |
| 0299562373 | マスフローメータEX-700バルブ有100mL/min | 124,000 円 | 価格はログイン後に確認出来ます |
| 0299562374 | マスフローメータEX-700バルブ有500mL/min | 124,000 円 | 価格はログイン後に確認出来ます |
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| 0299562391 | 電源アダプター PSK-83 ケーブル長1.8m | 14,200 円 | 価格はログイン後に確認出来ます |
商品説明
本器はExact"正確な流量計測"、Excllent"優れた機能"をコンセプトに製品化しました。小流量(F.S.10sccm)から大流量(F.S.200slm)までをカバーし、標準在庫を11レンジ用意してます。
新型高性能センサー搭載のローコストモデルです。
小型軽量、単電源DC24V駆動。
RS485通信機能標準搭載。
RoHS,CE規格対応。
表示器一体型で簡単操作(瞬時積算流量表示、ガス種切替、CF任意設定、上下限アラーム任意設定、流量単体変更、ローカット設定、局番設定、通信伝送速度変更 etc)