商品説明
安定性に優れた高速巻線センサーと小型比例ソレノイドバルブを採用し、コンパクトでありながら通信機能を標準装備(RS485)、高精度・高速応答を実現したデジタルマスフローデバイスです。※2
高速応答で優れたゼロ点安定性。
入出力信号は0-5V、電源は±15Vです。
電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ビンコネクタを採用しました。
ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されているガス種が使用可能。
RoHS・CE規格対応。
リードアウトユニットはマスフローコントローラまたはマスフローメータとケーブルで接続することにより、流量の計測・制御といったマスフローの基本機能の他、流量積算機能、流量イベント出力機能をお使いいただけるようになる便利なユニットです。
商品仕様
| 型式 |
EX-250S-C |
| 電源電圧 |
±15V |
| 流体 |
N₂ |
| F.S.流量 |
1SLM |
| 校正温度 |
20℃ |
| 入力信号 |
電圧入力 |
| 出力信号 |
電圧出力 |
| 使用圧力 |
150~300kPa |
| センサー方式 |
熱式巻線センサー |
| バルブ方式 |
比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉) |
| 対象ガス |
N₂ |
| 流量レンジ |
1SLM |
| 制御範囲 |
2~100%(F.S.) |
| 応答性 |
全流量制御範囲 1sec以内(within±2%F.S.)、150kPa~300kPa |
| 精度 |
±1.0%F.S. |
| 再現性 |
±0.2%F.S. |
| 動作差圧 |
50~300kPa |
| 入口最大圧 |
500kPa(G) |
| 耐圧 |
980kPa(G) |
| Heリークレート |
1×10-⁸Pa・m³/sec以下 |
| 許容周囲温度 |
5~50℃ |
| 精度保証温度 |
15~35℃ |
| 許容保存温度 |
-10~60℃ |
| 許容周囲湿度 |
10~90%RH(但し結露なきこと) |
| 接ガス部材 |
SUS316、SUS316L、磁性ステンレス(コントローラのみ)、PTFE、FKM |
| 電気接続 |
Dsub9 ピン RJ45 コネクタ×2 |
| 流量設定入力信号 |
0~5VDC(入力インピーダンス約1MΩ) |
| 流量出力信号 |
0~5VDC(負荷抵抗 10k Ω以上) |
| デジタル信号 |
RS485ロータリースイッチによるアドレス設定 |
| 所要電源(DC) |
+15VDC(±5%)100mA以下、-15VDC(±5%)150mA以下or+24VDC(±10%)180mA以下 |
| 継手 |
1/4SWL(127.4) |
| 取付姿勢 |
水平方向推奨 |
| 重量 |
500g |
| 入数 |
1個 |
関連商品
| 商品コード |
商品名 |
定価 |
通常販売価格 |
| 0299562341 |
マスフローコントローラ 1/4SW 10SCCM N2 |
181,500 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0299562342 |
マスフローコントローラ 1/4SW 100SCCM N2 |
181,500 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0299562343 |
マスフローコントローラ 1/4SW 500SCCM N2 |
181,500 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0299562345 |
マスフローコントローラ 1/4SW 5SLM N2 |
181,500 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0299562346 |
マスフローメーター 1/4SW 10SCCM N2 |
157,300 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0299562347 |
マスフローメーター 1/4SW 100SCCM N2 |
157,300 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0299562348 |
マスフローメーター 1/4SW 500SCCM N2 |
157,300 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0299562349 |
マスフローメーター 1/4SW 1SLM N2 |
157,300 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0299562350 |
マスフローメーター 1/4SW 5SLM N2 |
157,300 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
商品説明
安定性に優れた高速巻線センサーと小型比例ソレノイドバルブを採用し、コンパクトでありながら通信機能を標準装備(RS485)、高精度・高速応答を実現したデジタルマスフローデバイスです。※2高速応答で優れたゼロ点安定性。
入出力信号は0-5V、電源は±15Vです。
電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ビンコネクタを採用しました。
ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されているガス種が使用可能。
RoHS・CE規格対応。
リードアウトユニットはマスフローコントローラまたはマスフローメータとケーブルで接続することにより、流量の計測・制御といったマスフローの基本機能の他、流量積算機能、流量イベント出力機能をお使いいただけるようになる便利なユニットです。