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小型プラズマ装置 PR200

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商品コード
0972521812
定価
2,321,000
通常販売価格(掛率)
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仕切価格
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メーカー品番
215016
メーカー
ヤマト科学(Yamato Scientific)
JANコード
4573181535563
当年カタログページ
2024年度 782ページ
前年カタログページ
2022年度 771ページ
在庫
0
在庫切れ時納期目安
46

商品説明

RFは200Wの高性能出力。
装置寸法がコンパクトなため、省スペースで設置。
ソフトからハードまでRF可変でき使用範囲が広い。
同調、オートチューニングの為操作が簡単。
※別売りの真空ポンプを接続してご使用ください。
※外寸:突起部含まず。

商品仕様

型式 PR200
外寸 W350×D400×H500mm
方式 DP方式バレル型
制御部 高周波出力 Max200W
制御部 発振周波数 13.56MHz
制御部 同調方式 オートマッチング
反応部 反応槽 パイレックス
反応部 反応ガス系 1系統(酸素)フロメーター
反応部 制御系 手動リークバルブ
反応部 配管系材質 SUS製、テフロン製
チャンバー寸法 φ100×D160mm
重量 25kg
電源 AC100V 15A 50/60Hz
付属品 試料棚
入数 1台

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