商品説明
中真空(10⁻²Pa)での真空乾燥・真空ベーキングに最適です。
ターボ分子ポンプの採用で中真空と排気スピードアップを実現。更に後段ポンプをドライ真空ポンプにするとクリーンな排気が可能。急激な圧力上昇にも耐久性を発揮します。
後段ポンプが油回転式の場合、主電磁弁が閉じ、自動リーク弁が開いて配管内部の圧力を常圧にすることで、ポンプオイルの真空チャンバー内への流入を防止します。
液圧式温度調節器の設定値プラス温度調節計の上限警報設定値に片方または両方が到達で、ヒーターOFFブザー及びランプで警報を発します。
外部加熱方式と真空槽内部に加熱ヒーターを入れる内部加熱方式を選択可能(※別途お打ち合わせになります。)
ゲージポートが標準で2か所付属。お手持ちのピラニ真空計やコールドカソード真空計を接続して真空度を測定してください。
商品仕様
| 型式 |
MPD-50TP |
| 温度範囲 |
40~200℃40~350℃ |
| 槽内寸法 |
W500×D500×H500mm |
| 電源 |
AC200V 単相 6.5kW |
| 到達圧力 |
10⁻²Paオーダー(無負荷時、非加熱時) |
| 温度調節精度 |
±1℃(無負荷時、150℃設定時) |
| 昇温時間 |
120分(無負荷時、周囲温度20℃において150℃まで) |
| 操作方式 |
手動 |
| 制御方式 |
温度調節計RB700型によるPID制御 |
| 設定・表示方式 |
デジタル設定/デジタル表示 |
| 温度センサ |
φ2.3K熱電対(真空槽内設置) |
| 過昇温防止 |
液圧式センサと上限警報の独立二重防止回路 |
| 安全装置 |
漏電ブレーカー、ヒータ回路、制御回路ヒューズ、二重加工防止回路(加熱防止、ブザーランプ警報、手動リセット)、自己診断機能(設定値、温度センサ、バーンアウト) |
| ターポ分子ポンプTG5OT型 |
到達真空度:10⁻²Pa、排気速度:49L/sec、臨界背圧:1300Pa、強制空冷吸引口:JIS65AフランジまたはISO63フランジ |
| 後段真空ポンプ |
排気速度300L/min |
| オイルミストトラップ |
TMC-600 |
| 後段ポンプ吸引口 |
NW25フランジ |
| 真空弁 |
1インチベローズバルブ |
| リーク口 |
3/8インチベローズバルブ |
| 真空計 |
クリスタルコールドカソード真空計CC-10型(10kPa~0.000013Pa) |
| ゲージボード |
JMG-W15型(ピラニ真空計、コールドカソード真空計用) |
| ヒータ |
スペースヒータ(真空槽外面に密着取付) |
| 負荷コントロール |
PID制御 |
| 使用周囲温度 |
5~35℃ |
| 槽内容量 |
125L |
| 断熱材 |
グラスウール |
| 監視窓 |
前面監視窓(350℃仕様は窓なし) |
| 窓保護板 |
ポリカーポネイト板(350℃仕様は窓なし) |
| 内装 |
SUS304 |
| 外装 |
銅板(焼き付け塗装) |
| オプション |
ピラニ真空計JG-28MII型(2kPa~0.13Pa)、電離真空計G-20P型(0.01Pa~0.000013Pa)ハーチメックポートJMH-24型、JMHP-24型 |
| 仕様補足 |
※温度範囲:別途お打ち合わせになります。
※オプション:お問い合わせください。 |
関連商品
| 商品コード |
商品名 |
定価 |
通常販売価格 |
| 0180612111 |
中真空乾燥装置 MPD-30TP |
4,600,000 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0180612112 |
中真空乾燥装置 MPD-40TP |
5,580,000 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
商品説明
中真空(10⁻²Pa)での真空乾燥・真空ベーキングに最適です。ターボ分子ポンプの採用で中真空と排気スピードアップを実現。更に後段ポンプをドライ真空ポンプにするとクリーンな排気が可能。急激な圧力上昇にも耐久性を発揮します。
後段ポンプが油回転式の場合、主電磁弁が閉じ、自動リーク弁が開いて配管内部の圧力を常圧にすることで、ポンプオイルの真空チャンバー内への流入を防止します。
液圧式温度調節器の設定値プラス温度調節計の上限警報設定値に片方または両方が到達で、ヒーターOFFブザー及びランプで警報を発します。
外部加熱方式と真空槽内部に加熱ヒーターを入れる内部加熱方式を選択可能(※別途お打ち合わせになります。)
ゲージポートが標準で2か所付属。お手持ちのピラニ真空計やコールドカソード真空計を接続して真空度を測定してください。