商品仕様
| 品目 | 小型プラズマ装置 PM100 |
|---|---|
| 型式 | PM100 |
| 本体寸法 | 310×300×448H(突起含まず)mm |
| 仕様 | プラズマ発生源:低周波高電圧電源、出力50W未満、発振周波数100kHz以下 電極構造:コンデンサー形2分割 ガスフローメータ:酸素ガス用、流量30~300mL/min 真空、パージ調整バルブ:スロー真空引、スローパージ用 チャンバー寸法:内径100mm×奥行最大約200mm ユーティリティー 電源:AC100V 15A 50/60Hz 真空ポンプ接続口:外径φ26mmホース 継手付き(推奨ポンプは排気速度30L/min) ガス接続口:φ6.35mm 配管接続用継手付帯 |
商品説明
プラズマ装置の廉価版シンプル操作でルーチンワーク向け
高周波利用申請は不要です。