商品説明
有機物の除去や樹脂・フィルムの表面改質、接着効果の改善、漏れ性の向上、金属酸化物の除去など、研究・開発用途の最適です。
場所を取らないコンパクト設計。
※真空ポンプは別売りです。
商品仕様
| 品名 |
コンパクトプラズマ装置 |
| 型式 |
PiPi |
| 外形寸法 |
W438×D520×H565mm |
| プラズマ方式 |
RIEモード |
| 電極構造 |
平行平板式 |
| 高周波出力 |
Max.200W |
| 発振周波数 |
13.56MHz |
| ステージ寸法 |
W130×D130mm |
| 反応ガス |
Ar(1系統) |
| パージガス |
N₂またはドライエアー |
| 反応ガス流量計 |
フローメーター |
| 制御方法 |
シーケンス制御 |
| 真空ポンプ(別売り) |
油回転135L/min(50Hz) |
| 電源 |
100V(15A) |
| 入数 |
1台 |
関連商品
| 商品コード |
商品名 |
定価 |
通常販売価格 |
| 0932645801 |
PiPi 真空ポンプ付配管キット |
294,000 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0932645802 |
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409,000 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
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| 0932645811 |
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397,000 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0932645812 |
耐食真空ポンプ PX137 真空配管セットE |
534,000 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
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商品説明
有機物の除去や樹脂・フィルムの表面改質、接着効果の改善、漏れ性の向上、金属酸化物の除去など、研究・開発用途の最適です。場所を取らないコンパクト設計。
※真空ポンプは別売りです。