商品仕様
| 品名 | コンパクトプラズマ装置 |
|---|---|
| 型式 | PiPi |
| 外形寸法 | W438×D520×H565mm |
| プラズマ方式 | RIEモード |
| 電極構造 | 平行平板式 |
| 高周波出力 | Max.200W |
| 発振周波数 | 13.56MHz |
| ステージ寸法 | W130×D130mm |
| 反応ガス | Ar(1系統) |
| パージガス | N₂またはドライエアー |
| 反応ガス流量計 | フローメーター |
| 制御方法 | シーケンス制御 |
| 真空ポンプ(別売り) | 油回転135L/min(50Hz) |
| 電源 | 100V(15A) |
| 入数 | 1台 |
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| 商品コード | 商品名 | 定価 | 通常販売価格 |
|---|---|---|---|
| 0932645801 | PiPi 真空ポンプ付配管キット | 294,000 円 | 価格はログイン後に確認出来ます |
| 0932645802 | PiPi 耐食仕様真空ポンプセット | 409,000 円 | 価格はログイン後に確認出来ます |
商品説明
有機物の除去や樹脂・フィルムの表面改質、接着効果の改善、漏れ性の向上、金属酸化物の除去など、研究・開発用途の最適です。場所を取らないコンパクト設計。
※真空ポンプは別売りです。