- TGK - 東京硝子器械 TryWinZ / EXTターボ分子ポンプ EXT75DX DN63CF-K

商品カテゴリー

一般的に従来型ベアリングと比較して、10分の1の低振動です。
垂直上向きから水平方向までの取付け姿勢。
コントローラー一体型でTICとの接続や、DC24Vモーター採用によりOEM供給の電源・制御機器との直接接続が可能。
パラレル通信およびRS232シリアル通信が可能。

排気速度(L/S) N₂	61
排気速度(L/S) H₂	53
排気速度(L/S) He	57
到達圧力	<5×10⁻⁸Pa
仕様補足	強制急冷が必要となる為、エアクーラーのご購入をお勧めします。