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【販売終了】ターボ分子ポンプ iX-455-450L/S ICF

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ターボ分子ポンプ iX-455-450L/S ICF
商品コード
0708645036
定価
2,100,000円
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メーカー品番
PT640Z060
メーカー
EDWARDS(エドワーズ)
エドワーズ株式会社
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商品説明

先進的な磁気軸受システムを採用しました。(新コンセプト。セルフセンシング磁気軸付技術、完全5軸デジタル制御の採用)
コントロールユニット一体型ポンプで、ラック型のコントロールユニットが不要、ポンプ～コントロールユニット間のケーブル類が不要
振動レベルを50%に低減しました(当社約STP-301/451比)
取り付け姿勢が自由
オイルフリー
メンテナンスフリー

商品仕様

吸気口フランジ ICF203
排気速度(L/S) N₂ 450
排気速度(L/S) H₂ 460
到達圧力 10⁻⁸Pa
仕様 排気フランジ:NW25