商品仕様
| 型式 | CC-10 |
|---|---|
| フランジ規格 | ICF70 |
| 測定範囲 | 1.0×10⁻⁷~1.0×10⁵Pa |
| センサー | クリスタルゲージ/コールドカソードゲージ |
| 表示 | 7セグメントLED |
| アナログ出力 | DC0~10V log出力または複合出力から選択 |
| セットポイント | 3点(1点独立、2点はコモン共通) |
| デジタルインタフェース | RS485 |
| 電源電圧 | DC22~26V Max8W |
| 動作時周囲温度 | 0~50℃ |
| ベーキング温度 | MAX150℃(回路部は取外すこと) |
| 規格 | RoHS指令適合品、CEマーキング適合品 |
| 外形寸法 | W94×D70.8×H158.5mm(突起部は除く) |
| 本体重量 | 1060g |
| オプション | ・CC-10専用表示器DS-10小型なボディー(W48×D100×H48mm)で密着の高い実装が可能です。 ・アダプタセット1 AS-1 AC100VからCC-10本体への電源供給用 ・アダプタセット2 AS-2 AC100VからCC-10本体、専用表示器への電源供給用 |
| 入数 | 1台 |
| 仕様補足 | ※AC電源でご使用の場合は別途オプションのACアダプタセットAS-1をご購入ください。 |
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| 商品コード | 商品名 | 定価 | 通常販売価格 |
|---|---|---|---|
| 0612645801 | コンビネーションゲージ CC-10 NW25 | 236,000 円 | 価格はログイン後に確認出来ます |
商品説明
従来、大気圧から高真空までの広範囲を計測するには大気圧を計測する真空スイッチ、荒引き領域を計測するピラニ真空計、高真空領域を計測する電離真空計が必要でした。しかしながらこのCC-10を使うことによって、たった1台でこの領域の計測をカバーすることができます。しかも表示、コントローラー 一体型なので煩雑な配線をすることなくシンプルなシステムを組むことができ、不具合またコストの低減を実現することができます。CC-10は、最新のセンサー技術を取り入れ、12桁の圧力範囲(1.0×10⁻⁷[Pa] ～ 1.0×10⁵ [Pa])の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。 大気圧から1 [Pa]まではクリスタルゲージ、1 [Pa]から10⁻⁷ [Pa]まではコールドカソードゲージを使用し測定します。 センサー、回路部、ディスプレイ一体型により、本製品のみで圧力表示、セットポイントによるシステム制御が行えます。 また、CC-10はデジタル通信RS485を標準装備し、欧州規格 EN(CE)に対応しております。 CC-10はRoHS規格に準拠した環境にやさしい製品です。
<用途>
真空蒸着装置光学薄膜生成装置電子デバイス製造装置