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アルバック機工 小型真空排気装置 VPT-060

ダイアフラムポンプとターボ分子ポンプの組み合わせで完全ドライを実現。
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商品コード
0423647423
定価
1,309,000
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仕切価格
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メーカー品番
VPT-060
メーカー
アルバック機工(ULVAC)
アルバック機工株式会社
当年カタログページ
2026年度 925ページ
前年カタログページ
2024年度 1016ページ
在庫
0
在庫切れ時納期目安
長納期を要します。営業部にお問い合わせください。

商品説明

完全ドライの排気ユニットです。
設置スペースがコンパクトです。

商品仕様

型式 VPT-060
ポンプ ドライ型
冷却方式 空冷型
到達圧力 10^-5Pa
排気速度 60L/sec
バックポンプ DAU-20 20L/min
所要電力 単相 100V 0.3KVA
外形寸法 W340×D340×H355mm
重量 17kg
電源 AC100V 50/60hz
吸引口 ISO63