商品仕様
| 最大流量レンジ | N2-50L/min |
|---|---|
| 摘要 | N2用 |
| センサー方式 | 熱式巻線センサー |
| 応答性 | 7sec以内 |
| 精度 | ≧25SLM±2%RD<25SLM±3%F.S.(25℃) |
| 再現性 | ±0.5%F.S. |
| 耐圧 | 980kPa(G) |
| 許容周囲温湿度 | 許容周囲温度:5~45℃許容周囲湿度:10~90%RH(結露なきこと) |
| 材質 | 接ガス部材質/ボディ:SUS303,PTFEシール材:FKM |
| 電気接続 | 171826-5(AMP製) |
| 流量出力信号 | 0~5VDC±5%(外部許容負荷抵抗250kΩ以上) |
| 所要電源 | ±15VDC±5% 60mA |
| 継手 | (本体口径)Rc1/4 |
| 質量 | 約500g |
| 入数 | 1台 |
| 仕様補足 | ほかのガスも別途相談ください。 |
商品説明
ローコストながらバイパスキャピラリ方式を採用した高精度マスフローメーターです。デジタル制御方式ならではのワイドレンジ(100cc～50l/min)を1台でカバーできます。