商品説明
コンパクトとローコストを両立したベストセラー機です。
改良型センサー搭載により高速応答と高精度を実現。
マスフローコントローラーとリードアウトユニットをセットで使用した場合ケーブルが必要です。
大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用機種として、数多くの実績を持ち、多彩な派生機種、オプションを用意しております。
商品仕様
| 型式 |
3660 |
| 品名 |
マスフローコントローラー 3660 |
| 流量レンジ |
1~5L/min |
| 材質 |
SUS316 |
| 摘要 |
本体 |
| 標準流量レンジ(N₂換算) |
10SCCM~20SLM※最大流量をご指定ください |
| 応答性 |
2sec.以内 |
| 精度 |
±1.0%F.S.(25℃) |
| 動作差圧 |
F.S.≦5SLM:50~300KPa、F.S.>5SLM:100~300KPa |
| 耐圧 |
980kPa |
| 使用周囲温度 |
5~45℃ |
| 接続継手 |
1/4SW |
| 入数 |
1台 |
| 仕様補足 |
※ガス種・流量レンジ等のご要望につきましてはお問い合わせください。 |
関連商品
| 商品コード |
商品名 |
定価 |
通常販売価格 |
| 0299562203 |
ケーブル CP-STD1-1m |
8,800 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0299562204 |
ケーブル CP-STD1-3m |
11,000 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0299562205 |
ケーブル CP-STD1-5m |
13,200 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
| 0299562206 |
リードアウトユニット CR-400 |
106,500 円 |
価格はログイン後に確認出来ます
|
商品説明
コンパクトとローコストを両立したベストセラー機です。改良型センサー搭載により高速応答と高精度を実現。
マスフローコントローラーとリードアウトユニットをセットで使用した場合ケーブルが必要です。
大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用機種として、数多くの実績を持ち、多彩な派生機種、オプションを用意しております。